氧化钇灯丝产线
拥有国内领先的 Y₂O₃ 薄膜电子发射材料制备能力。Ir/Y₂O₃ 复合灯丝具有发射电流大、工作温度低、寿命长等优势。已建成标准化产线,覆盖灯丝定型、涂层制备、性能表征全流程。铱钇氧化物灯丝已完成航天级真空环境长期稳定性验证。
专注微纳真空器件与热发射电子源,服务国产高端仪器与装备
北京迈刻微科电子科技有限公司是一家专注于热发射电子源和离子源器件的科技企业,依托高校团队技术积累,致力于将前沿电子源技术推向产业化应用。
公司核心团队在高性能氧化钇电子源、长寿命离子源等领域拥有多项专利,是国内少数具备从材料制备、器件设计到系统集成的全链条研发能力的企业。产品面向半导体设备、科学仪器、商业航天、增材制造等领域。
拥有国内领先的 Y₂O₃ 薄膜电子发射材料制备能力,具有发射电流大、工作温度低、寿命长等优势,已完成多项航天级测试以及长期稳定性验证。
可根据客户特定需求,从电子源类型、发射面积、工作电压和功率、封装形式等多维度灵活定制,从单只打样到小批量供货,从技术验证到量产导入,提供全周期工程协同。
从材料制备到器件集成的全链条能力,为客户提供稳定可量产的热发射电子源解决方案
拥有国内领先的 Y₂O₃ 薄膜电子发射材料制备能力。Ir/Y₂O₃ 复合灯丝具有发射电流大、工作温度低、寿命长等优势。已建成标准化产线,覆盖灯丝定型、涂层制备、性能表征全流程。铱钇氧化物灯丝已完成航天级真空环境长期稳定性验证。
根据客户特定需求,从电子源类型、发射面积、工作电压和功率、封装形式等多维度灵活定制。从单只打样到小批量供货,从技术验证到量产导入,提供全周期工程协同。
以 Ir/Y₂O₃ 复合灯丝为核心,把稳定、长寿命、可量产做到极致
Y₂O₃ 薄膜材料将功函数降至约 2.7 eV,实现低温大电流发射。
EN 系列中和器发射电流可达 0~200mA,覆盖高要求场景。
铱钇氧化物灯丝完成航天级真空环境长期稳定性验证。
覆盖材料制备、灯丝成型、器件设计、系统集成与测试。
产品已面向半导体设备、科学仪器、商业航天、增材制造等领域服务数十家客户

自制底座,适配现有型号 RGA 设备,已批量交付。
RGA 设备 · 批量交付
自主设计,适配国产分析仪器,已批量交付。
国产仪器 · 批量交付“性能很优秀,和国外文献报道的水平差不多。”—— 某真空计专家
“工作电流从进口的 3A 降到 1.9A,寿命更长。”—— 某厂商技术负责人
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