国产热发射 电子源离子源

从一粒电子到一束离子,从实验室到产业线。
迈刻微科,把热发射电子源和离子源做到极致。

北京迈刻微科电子科技有限公司 — 专注 Y₂O₃/铱基低功函数热发射灯丝与离子源器件
依托高校团队技术积累,已服务半导体设备、科学仪器、商业航天等领域数十家客户

E/EI/EN/EG 四大系列 航天级验证 异形定制
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数十家已服务客户
全链条材料→器件→系统
航天级真空环境验证

核心产品

E、EI、EN、EG 四大系列标准产品,覆盖热发射电子源、离子源、中和器与电子枪;并提供真空计与真空视窗打样服务

E系列热发射电子源产品实拍,W/Ir-Y₂O₃复合灯丝

E系列 · 热发射电子源

W/Ir-Y₂O₃ 复合灯丝,功函数低至 2.7 eV,发射电流大、工作温度低。

W/Ir-Y₂O₃发射电流 0~50mA可定制
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EI系列质谱离子源产品实拍,双灯丝结构

EI系列 · 质谱离子源

双灯丝结构,适配多款标准化设备,可替代原厂耗材,降低运维成本。

双灯丝RGA适配直接替换
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EN系列离子源配套中和器产品实拍,航天级验证

EN系列 · 离子源配套中和器

大发射电流设计,已完成航天级真空环境长期稳定性验证。

发射电流 0~200mA航天级验证
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EG系列电子枪产品实拍,标准AEI底座

EG系列 · 电子枪

标准 AEI 底座,可配阳极套筒,便于与现有真空系统集成。

标准AEI底座可配阳极套筒
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微型热发射电离真空计产品实拍,耐粗真空可定制

微型热发射电离真空计

耐粗真空,尺寸可灵活定制,适配多种真空测量场景。

耐粗真空尺寸可定制
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多波段真空视窗产品实拍,玻璃石英蓝宝石金刚石窗片

多波段真空视窗

玻璃 / 石英 / 蓝宝石 / 金刚石等窗片,适配不同波段透过需求。

玻璃/石英蓝宝石/金刚石
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关于迈刻微科

专注微纳真空器件与热发射电子源,服务国产高端仪器与装备

高校团队背景 · 全链条产业化

北京迈刻微科电子科技有限公司是一家专注于热发射电子源和离子源器件的科技企业,依托高校团队技术积累,致力于将前沿电子源技术推向产业化应用。

公司核心团队在高性能氧化钇电子源、长寿命离子源等领域拥有多项专利,是国内少数具备从材料制备、器件设计到系统集成的全链条研发能力的企业。产品面向半导体设备、科学仪器、商业航天、增材制造等领域。

拥有国内领先的 Y₂O₃ 薄膜电子发射材料制备能力,具有发射电流大、工作温度低、寿命长等优势,已完成多项航天级测试以及长期稳定性验证。

可根据客户特定需求,从电子源类型、发射面积、工作电压和功率、封装形式等多维度灵活定制,从单只打样到小批量供货,从技术验证到量产导入,提供全周期工程协同。

企业愿景:成为国内领先的热发射电子源、离子源解决方案供应商。

了解我们的能力与客户案例 →

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