微型热发射电离真空计
微型热发射电离真空计采用热发射电子源作为电离单元，耐粗真空，可作为真空系统压力监测的核心传感器，适配多种真空测量场景。
产品支持尺寸灵活定制，便于集成到不同规格的真空腔体与工艺设备中。
Y₂O₃/铱基可异形定制
核心参数
| 原理 | 热发射电离式真空测量 |
|---|---|
| 耐受性 | 耐粗真空 |
| 定制性 | 尺寸可灵活定制（低至10mm以下） |
| 角色 | 真空系统压力监测核心传感器 |
| 集成 | 适配多种真空测量场景 |
| 量程 | 10⁻⁵Pa ~ 10Pa |
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