
EG系列 · 电子枪
EG 系列电子枪采用标准 AEI 底座,可直接与现有真空系统集成,并可配阳极套筒以适配不同电子束应用需求。
产品依托迈刻微科的电子源设计与异形封装能力,在电子束加工、真空镀膜与材料表面处理等场景中提供可控、稳定的电子束来源。
Y₂O₃/铱基低功函数可异形定制航天级验证
核心参数
| 底座形式 | 标准 AEI 底座 |
|---|---|
| 可选配置 | 可配阳极套筒 |
| 集成性 | 便于与现有真空系统集成 |
| 电子源 | W/Ir-Y₂O₃ 复合灯丝 |
| 适配场景 | 电子束加工 / 镀膜 / 表面处理 |
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